печь быстрого отжига RTP

Описание：

Он позволяет проводить быструю термообработку образцов в вакууме или атмосферных условиях и предназначен для отжига полупроводниковых подложек или подложек солнечных элементов.

Введение в продукт

Печь быстрого отжига RTP представляет собой трубчатую печь, способную к быстрой термообработке. Она оснащена кварцевой камерой и вакуумным фланцем, использует галогенные лампы для нагрева и обеспечивает скорость нагрева до 50 °C/секунду. Печь имеет ПИД-регулятор и 30-сегментный программируемый логический контроллер, что делает её особенно подходящей для отжига полупроводниковых или солнечных подложек. Эта трубчатая печь быстрого отжига позволяет проводить быструю термообработку образцов в вакууме или атмосферных условиях. Она в основном используется в университетских и промышленных лабораториях для таких применений, как осаждение тонких пленок, быстрый отжиг различных материалов, образование силицидов, диффузия, кристаллизация и уплотнение.

Витрина продукции

печь быстрого отжига RTP

Технические параметры

имя	печь быстрого отжига RTP
Размер обработанной вафли: 2 дюйма		Размер обработанной вафли: 4 дюйма		Размер обработанной вафли: 6 дюймов
наружный диаметр печной трубы	100 мм	наружный диаметр печной трубы	110~150 мм	наружный диаметр печной трубы	180~200 мм
Размер зоны нагрева	200 мм	Размер зоны нагрева	300 мм	Размер зоны нагрева	400 мм
самая высокая температура	1000℃
Рабочая температура	≤900℃
нагревательный элемент	Инфракрасные лампы
термопара	N-тип
материал труб печи	кварц
Метод контроля температуры	ПИД-регулирование и самонастраивающаяся регулировка, интеллектуальное 30-сегментное программируемое управление.
Защита от перегрева	Функция защиты от перегрева и обрыва термопары.
скорость нагрева	Рекомендуемая температура: 0~50°C/мин
Точность контроля температуры	±1℃
Количество температурных зон	Единая температурная зона
Материал для печи	Огнеупорное волокно из высокочистого оксида алюминия
конструкция оболочки печи	Корпус из углеродистой стали, двухслойная оболочка, оснащен системой воздушного охлаждения.
Конструкция корпуса печи	Тип открывания слайда
Рабочая среда	Атмосферное давление/вакуум/атмосфера
рабочий источник питания	220/380 В, 50 Гц (возможно изменение по запросу)
тюлень	Вакуумный фланец из нержавеющей стали с клапаном и механическим манометром.
Другие дополнительные конфигурации	Расходомер, вакуумная система, сенсорный экран, пульт дистанционного управления, компьютерный дисплей