Позиция:Главная > Случаи клиентов

PECVD для выращивания углеродных нанотрубок

Время：2025-04-15

Заказчик: Китайская компания по производству полупроводниковых материалов

Наименование оборудования: Система PECVD

Материал печных трубок: Высокочистый кварц

Атмосфера: Азот

Применение: Используется для выращивания углеродных нанотрубок.

Преимущества оборудования:

1. Компактные размеры и мощные функции, объединяющие нагрев, радиочастотное излучение, подачу газа с точным расходомером, прецизионную газификацию и высоковакуумную систему.

2. Радиочастотный источник питания позволяет усилить плазму, значительно снижая температуру эксперимента и уменьшая повреждение пленки, вызванное высокой температурой.

3. Напряжение пленки можно контролировать в зависимости от мощности радиочастотного источника питания.

4. Плазменное свечение можно наблюдать непосредственно через кварцевую трубку.

5. Весь комплект оборудования может работать в вакуумной/атмосферной среде.

6. Сенсорный интерфейс удобен и практичен, позволяет отображать и контролировать рабочее состояние оборудования, вызывать, редактировать и сохранять данные о процессе спекания, а также имеет динамическое отображение, позволяет записывать и экспортировать исторические данные.

Реальные кадры с места событий от клиента PECVD.

Prev:Исследовательская группа Университета Цинхуа в Китае посетила завод.

Next:Вакуумная печь для спекания при температуре 500℃ — для термообработки металлических компонентов.